台积电知名的微影制像技术发展处长林本坚昨表示，透过“浸润式微影技术”，台积电将可陆续开发出半导体先进制程技术，除了65、45奈米先进制程，今年并已看到22奈米研发可行性，但步入生产大概是2010年以后。
第3届“台积之友杯”青少年网球12岁组年度菁英赛昨在交大综合球馆开幕，共有全国排名前16强的男女网坛明日之星参赛，今天并将安排参观台积电，林本坚是本届的赞助者，从40岁开始学打网球的他，球龄已超过20年，他将以“网球、晶圆、微影、人生”为题，与小球员们畅谈网球和晶圆的有趣关联，及他从研究微影技术和打球之间所领悟到的人生智慧。
林本坚指出，他刚开始学打网球时，半导体晶圆尺寸才像10元硬币大小，仅能容纳4个电路，后来渐发展到8寸、12寸，网球拍也从沉重的木制渐到目前轻巧的碳纤维，他并说，网球1根绒毛等于65奈米技术的3千2百个电晶体，双打发球出去的1秒钟等于0.13微米的30亿电路运算次数。
自由时报
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